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紫外光刻机的产品优点介绍

发布时间:2022-06-10      点击次数:1220
紫外光刻机是制造集成电路中重要的设备,特别是现在市面上大部分的芯片都是属于电子芯片,当电子芯片的工艺小于一定的尺寸的时候,就必须依靠光刻机在制作芯片,也就是说如果没有光刻机就没有办法制造出顶级的芯片,比如市面上7nm芯片、5nm芯片等都不可能造出。而芯片在生活中是重要的,比如电脑、手机等电子产品都少不了。
该光刻机可广泛用于MEMS和光电子,例如LED生产。它经过**设计,方便处理各种非标准基片、例如混合、高频元件和易碎的III-V族材料,包括砷化镓和磷化铟。而且该设备可通过选配升级套件,实现紫外纳米压印光刻。它具有以下亮点:高分辨率掩模对准光刻,特征尺寸优于0.5微米、装配SUSS的单视场显微镜或分视场显微镜,实现快速准确对准、针对厚胶工艺进行优化的高分辨光学系统、可选配通用光学器件,在不同波长间进行快速切换等。
随着电子业的飞速发展,对作为电子元器件基础的印制板的需求量及其加工精度的要求越来越高。紫外线光刻机是印制板制造工艺中的重要设备。传统光刻机的玻璃-迈拉晒架在生产过程中需要人工赶气,迈拉膜需要经常更换。由于冷却系统过于臃肿,使得其生产成本高、效率低,已不能满足PC B 生产的需要。在实验基础上设计了双玻璃晒架光刻机,改进了其主要组成部分,包括晒架系统、光路系统、冷却系统以及电气和控制系统的整体设计。
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
紫外光刻机的原理是在已经切割好的晶圆(通常是多晶硅)上覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶,再用光线(一般是紫外光、深紫外光、极紫外光)透过掩模照射在晶圆表面,被紫外线照射到的光刻胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射/未被照射的光刻胶,就实现了电路图从掩模到晶片的转移。简单来说,就用紫外线把多层电路图雕刻在晶圆上,而在这过程中就必然要用到光刻机。
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