薄膜测厚仪通过直接或间接的方法来测量薄膜的厚度。以下是测厚仪如何测量薄膜厚度的具体介绍:
1、机械接触式
原理:机械接触式测厚仪利用高精度传感器与薄膜表面接触,通过测量传感器的位移来确定薄膜的厚度。
特点:机械接触式测厚仪通常具有较高的精度和重复性,适用于各种材料的厚度测量,包括塑料薄膜、纸张、箔片等。
2、光学非接触式
原理:光学非接触式测厚仪利用光的干涉原理或反射原理来测量薄膜的厚度。例如,椭偏仪可以通过分析光在薄膜表面的反射和折射行为来确定薄膜的厚度。
特点:光学非接触式测厚仪具有非破坏性和高速度的优点,适用于透明或半透明薄膜的测量,如氧化物、聚合物等。
3、超声波测厚仪
原理:超声波测厚仪通过发射超声波并接收其在薄膜另一侧的反射波来测量薄膜的厚度。根据超声波在薄膜中的传播时间和速度,可以计算出薄膜的厚度。
特点:超声波测厚仪适用于较厚薄膜的测量,具有较深的测量范围,但精度可能低于其他方法。
4、电磁测厚仪
原理:电磁测厚仪利用电磁感应原理来测量薄膜的厚度。当探头靠近导电薄膜时,会产生电磁场,通过测量电磁场的变化来确定薄膜的厚度。
特点:电磁测厚仪主要用于测量金属薄膜或涂层的厚度,具有快速、准确的特点。
5、称重法
原理:称重法通过测量一定面积的薄膜质量,然后除以该面积来计算薄膜的平均厚度。这种方法适用于均匀薄膜的测量。
特点:称重法简单易行,但需要确保薄膜的质量分布均匀,否则会影响测量结果的准确性。
6、X射线测厚仪
原理:X射线测厚仪利用X射线的吸收或荧光特性来测量薄膜的厚度。通过分析X射线穿过薄膜后的强度变化,可以确定薄膜的厚度。
特点:X射线测厚仪适用于各种材料的薄膜测量,包括金属和非金属材料,具有高精度和高分辨率的优点。
总的来说,薄膜测厚仪通过多种方法来测量薄膜的厚度,每种方法都有其优势和适用领域。了解这些不同的测量方法,可以帮助用户选择适合自己需求的测厚仪。