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微纳结构三维形貌测量仪

简要描述:微纳结构三维形貌测量仪系列微纳结构三维形貌检测仪,基于白光干涉扫描原理,以光波长作为测量基准,利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法,实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构,由此获得待测物体三维形貌、表面纹理、微观尺寸等各类外观参数测量结果。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-03-16
  • 访  问  量:185

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详细介绍

品牌FLOWX产地类别国产
应用领域环保,电子

 

系列微纳结构三维形貌检测仪,基于白光干涉扫描原理,以光波长作为测量基准,利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法,实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构,由此获得待测物体三维形貌、表面纹理、微观尺寸等各类外观参数测量结果。

微纳结构三维形貌测量仪本产品具有以下特点:
高的测量精度:基于干涉测量原理,测量重复性达到1nm。
大的测量范围:采用独特扫描系统,在保证纳米定位精度的同时,单场扫描范围可达到10mm,结合白光光源重构方法,可满足曲面元件等大范围物体测量需求。
全自动测量:标配自动检焦功能,结合自动调焦装置,无需复杂调节过程,一键操作即可完成调焦、检测全过程。选配自动二维平台,可自动完成大面积三维数据拼接操作
高集成度、安装简便:整机集成为统一整体,仅需外接220v电源,通过USB3.0 数据传输,即可完成数据传输与测量
具有高的性价比:保证系统性能的同时,降低制造成本
灵活性高:可根据用户需求,对系统进行改进,满足工业不同应用场景需求。

微纳结构三维形貌测量仪技术参数:

型号

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

调焦方式

自动

纵向扫描范围

4mm

纵向扫描速度

15μm/s

倾斜调整范围

纵向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

横向分辨率

650nm(20倍物镜)

台阶测量重复性

1nm

XY样品台行程

100mm×100mm(手动)

Z轴行程

50mm(自动)

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

数据传输接口

USB 3.0

 

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