您好!欢迎访问安徽智微科技有限公司网站!
全国服务咨询热线:

13951825145

当前位置:首页 > 产品中心 > 芯片加工设备 > 光刻机 > URE-2000/35型紫外光刻机

URE-2000/35型紫外光刻机

简要描述:URE-2000/35型紫外光刻机,采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-07-08
  • 访  问  量:146

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
仪器种类微流控芯片系统应用领域医疗卫生,环保,电子

 

产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机
主要技术指标:
曝光面积:100mm×100mm
分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)
对准精度:±0.8μm
大胶厚:300μm(SU8胶)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±4%(Ф100mm 范围)
汞灯功率:350W(直流)
掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点:
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
安徽智微科技有限公司
地址:安徽省合肥市经开区尚泽大都会A座2214
邮箱:1053185136@qq.com
传真:
关注我们
欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息:
欢迎您关注我们的微信公众号
了解更多信息