您好!欢迎访问安徽智微科技有限公司网站!
全国服务咨询热线:

13951825145

当前位置:首页 > 产品中心 > 芯片加工设备 > 光刻机 > TYG-2000/T2步进投影光刻机

TYG-2000/T2步进投影光刻机

简要描述:TYG-2000/T2步进投影光刻机,照明系统:冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2; 冷却风扇

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-03-15
  • 访  问  量:181

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
仪器种类微流控芯片系统应用领域医疗卫生,环保,电子
产品名称:TYG-2000/T2步进投影光刻机
主要技术指标:
   曝光场面积:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明不均匀性:±2%
   物镜倍率:2.5倍(缩小)
   光源:350W球形汞灯(曝光谱线: i线)
   基片尺寸:4 英寸
   工件台运动范围:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工件台运动定位精度:±0.65μm
   调焦台运动灵敏度:1μm
   对准精度:±0.5μm
   调焦台运动行程:5mm
   检焦:CCD检测,检测精度0.5微米
   转动台行程:±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步进投影光刻机主要技术配置:
(1)照明系统:冷光椭球镜;   350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗);   XYZ汞灯调节台;   光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2;   冷却风扇
(2)工件台系统:X台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅(美国)   Y台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅2(美国)   转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系 调平台:电机及驱动器(3套)、调平机构   Z台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构; 承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)检焦系统:焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
(4)对准系统:对准光学检测系统(2套)、CCD(2套)、对准软件
(5)电控系统:汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、显示器、接口
(6)其他部件:底座 减震器(4个);控制柜桌;气动系统;电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一台(无油泵);空压机一台(静音泵);管道

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
安徽智微科技有限公司
地址:安徽省合肥市经开区尚泽大都会A座2214
邮箱:1053185136@qq.com
传真:
关注我们
欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息:
欢迎您关注我们的微信公众号
了解更多信息