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  • URE-2000/35型紫外光刻机
    URE-2000/35型紫外光刻机

    更新时间:2021-07-08

    型号:

    浏览量:338

    URE-2000/35型紫外光刻机,采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制。
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  • TYG-2000/T2步进投影光刻机
    TYG-2000/T2步进投影光刻机

    更新时间:2021-03-15

    型号:

    浏览量:181

    TYG-2000/T2步进投影光刻机,照明系统:冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2; 冷却风扇
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  • DS-2000/14G型光刻机
    DS-2000/14G型光刻机

    更新时间:2021-03-15

    型号:

    浏览量:154

    DS-2000/14G型光刻机该机可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波长的极紫外光作为光源,用DMD数字微镜阵列替代传统掩模板,采用积木 错位蝇眼透镜实现高均匀照明
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